6163银河.net163.am|官方VIP网站-BEST Platform

CVD设备
您当前的位置 : 首 页 > 新闻中心 > 行业资讯

磁控溅射设备的故障现象及处理方法

2023-03-30 15:20:21

磁控溅射设备在使用过程中,可能会发生各种故障现象,这些故障会给磁控溅射设备的正常运行带来很大的影响,甚至可能导致设备关闭使用。下面将分别介绍磁控溅射设备的故障现象及处理方法。

1、磁控溅射设备出现电源故障

电源故障是磁控溅射设备常见的故障之一。当磁控溅射设备出现电源故障时,可能会出现供电不足、电压不稳定、电感电容值不匹配等问题,这些问题都会影响磁控溅射设备的正常运行。解决方法:检测设备的电源线路、插头连接是否正常,查看电流电压是否稳定,并确保采用的电感、电容数值匹配。

2、磁控溅射设备出现漏气现象

当磁控溅射设备出现漏气现象时,可能会导致材料沉积不均匀、制品质量下降等问题。解决方法:检查设备的气路系统,查找气路系统中可能存在的漏气点,并及时采取相应的修补措施。

3、磁控溅射设备出现弧光现象

弧光现象是磁控溅射设备容易出现的故障之一,可能会导致材料过早熔化或损坏设备等问题。解决方法:检查设备的气路系统、极性调节装置是否正常,排除可能存在的异常导电垫板或工件支撑带来的干扰。


磁控溅射设备


4、磁控溅射设备出现降色现象

当磁控溅射设备出现降色现象时,一般是因为溅射工具在使用过程中被损坏。解决方法:检查工件表面及溅射材料表面是否有明显的磨损或划痕,如果发现问题,应及时修复或更换对应的溅射工具。

5、磁控溅射设备出现气泵故障

气泵故障也是磁控溅射设备常见的故障之一,如果气泵出现故障,就无法将空气或其他气体输送到设备中,从而导致设备无法正常工作。解决方法:检查气泵是否正常运转、气泵引线是否正常接触、皮带张紧力是否适当,若气泵损坏需要及时更换。

磁控溅射设备在使用过程中,不同的故障需要不同的处理方法。为了保证磁控溅射设备的正常运行,需要定期对设备进行检查和维护,及时发现并处理故障,以保证设备的长期运行。

文章内容来源于网络,如有问题请和我联系删除!

标签

本文网址:/news/681.html
XML 地图